產(chǎn)品分類 PRODUCT
行業(yè)應(yīng)用 APPLICATIONS
紫外激光器相關(guān)知識點
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紫外激光以其波長短、加工精度高、冷加工等特性，在微細制造中具有獨特優(yōu)勢，能夠有效提高制造品質(zhì)。近年來，隨著現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其對生產(chǎn)制造的要求不斷提高，紫外激光的應(yīng)用和發(fā)展也受到人們的廣泛關(guān)注。紫外激光在微加工過程中對材料尺寸形狀要求小，加工過程靈活可變，產(chǎn)生的熱影響區(qū)小，能夠?qū)崿F(xiàn)精密復(fù)雜結(jié)構(gòu)的加工。本文介紹了紫外激光器的發(fā)展過程，并對目前主要用于微加工的兩類紫外激光器：準分子激光器和全固態(tài)激光器的工作原理和技術(shù)特點進行了簡要的概述。重點討論紫外激光在半導(dǎo)體、光學(xué)元件和聚合物等領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用現(xiàn)狀，并進一步對未來研究方向進行預(yù)測和展望。
紫外激光產(chǎn)生介質(zhì)主要分為氣體和固體兩種。氣體介質(zhì)產(chǎn)生方式通過電子束或脈沖放電，利用電子碰 撞激發(fā)，將氣體粒子激發(fā)至某高能級上，從而產(chǎn)生受 激躍遷向外輻射紫外激光。固體介質(zhì)是通過將紅外光 或近紅外光透過非線性倍頻晶體的方式進行一次或多 次的頻率轉(zhuǎn)換后得到紫外激光。用于激光微細加工的 激光器主要有準分子激光器和全固態(tài)激光器等。